1、硅石粉酸解法在襯鉛的酸解設備中先加入氫氟酸，然后逐漸加入硅石粉，使之反應。反應完成后，加入稻糠灰以中和游離的氫氟酸，同時起到漂白溶液的作用，過濾溶液，在濾出的清液中加入適量的黃丹粉(PbO)以除去氫氟酸中帶入的硫酸根，再經過濾，制得氟硅酸成品。

　　6HF+SiO2→H2SiF6+2H2O

　　2、由濕法磷酸生產中釋放出四氟化硅經水吸收制得。亦可由硅砂與氫氟酸反應制得或用硅砂、氟化鈣和濃硫酸混合加熱制得。